半導体産業用エアフィルター

集積回路にゴミが付着すると断線やショートの原因となり、ゴミは製品の歩留まりに直接影響します。今日、半導体産業 (チップ工場) は、生産環境の空気清浄度に関して最も要求が厳しく、エア フィルターに対する要求も最も厳しいです。

チップ工場の伝統的な換気形式は、作業場の天井全体が HEPA フィルターで覆われ、床全体が還気グリルになっている「大循環」です。現在、チップ工場の一部の作業場では独自のファンを備えたFFU（ファンフィルターユニット）が使用されており、大循環タイプとFFUのどちらも運転管理や操作方法に多少の違いがあるだけで十分なクリーン度が得られます。エネルギー消費。

HEPA フィルターと FFU は両方とも、工場から出荷される前にユニットごとにスキャンおよびテストされます。

浮遊海塩粒子はあらゆるエレクトロニクス産業の大敵ですが、浮遊海塩粉塵には比較的大きな粒子が含まれており、通常のフィルターで濾過できます。沿岸地域は経済的に発展しており、一部のエレクトロニクス産業はそこに工場を置くことを選択していますが、そのためにはフィルターにもう少し多くの資金を費やす必要があります。

今日の濾過技術は、クリーンルーム内の粉塵濃度を希望どおりにほぼゼロまで下げることができます。チップ上の線幅が 0.5μm と小さい場合、空気中の化学汚染物質が歩留まりの大きな危険になります。その結果、線幅が0.5μm未満のチップ工場の空調システムではケミカルフィルターが一般的に必要となります。ケミカルフィルターの原理や製造工程は複雑ではなく、活性炭フィルターです。

化学汚染物質の発生源としては、屋外の空気、プロセス自体、人、装飾材料などが考えられます。ほとんどの場合、設計者や現場担当者は、汚染物質の種類と濃度を言うことができません。したがって、使用するケミカルフィルターには、少なくとも 2 つの特性、つまり広域吸着特性と十分な量の活性炭材料が必要です。広域吸着とは、あらゆるものを吸着できるという意味で、この機能を備えた材料が最も一般的で安価な粒状活性炭です。汚染物質の種類が特定できれば、活性炭材料に対象を絞った化学処理を施し、特定の汚染物質の吸着能力を高めることができます。

半導体産業は一般に信じられているような「無煙産業」ではなく、環境問題も抱えている。最新のプロセスや材料が頻繁に使用されるため、化学物質によっては安全性が評価される前に大量に使用され、ほんの少しの不注意が地下水と大気の両方に深刻な化学汚染を引き起こす可能性があります。安全上の理由から、一部の企業は排気システムに化学フィルターを使用しています。