クリーンルームにおける各種エアフィルターの働き

2024/10/25 17:00

あらゆる種類のエアフィルターには特定の機能があり、その機能によってその役割と使用範囲が決まります。正しく選択し、合理的に使用すれば、その機能を十分に発揮し、本来の役割を果たします。選択を誤ったり、無理な使い方をすると、本来の役割を果たせないだけでなく、場合によっては逆効果になってしまうこともあります。


各種エアフィルターの機能と役割:

  • 一次効率フィルターの機能は、5μm 以上の塵粒子を除去することです。浄化空調システムのプレフィルターとして、その役割は、空調ボックス内の中効率フィルター、高効率フィルターおよびその他の付属品を保護して、その寿命を延ばすことです。耐用年数。

一次効率フィルタ

  • 中効率フィルタの機能は、1.0μm以上の塵粒子を除去することであり、浄化空調システムの中間フィルタとして、高効率フィルタの負荷を軽減し、高効率フィルタの寿命を延ばす役割を果たします。付属品はエアコンボックスに入っています。

中効率フィルター

  • HEPAフィルターは空調システムの末端フィルターであり、その機能は0.3um以上の塵粒子を除去し、浄化の目的を達成することであり、クリーンルームに必要な浄化装置です。

HEPAフィルター

  • ケミカルフィルターの機能は、クリーンルームの外気や循環空気中に存在する可能性のある化学汚染物質を除去することであり、空調機やクリーンワークショップの最後尾に設置される空気濾過装置です。

カーボンフィルター

  • ファンフィルターユニット(FFU)は、ファン、フィルター(HEPAまたはULPA)、ボックス、コントロールユニットなどを組み合わせることで、独自の電源を供給できる末端浄化装置です。

FFU

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