FFUのエア供給とリターン

クリーンルーム環境において、FFU（ファンフィルターユニット）は重要な役割を果たしており、クリーンルーム内の空気品質管理を実現する重要な機器です。FFUは独自の給気・還気システムにより、クリーンルーム内に安定した高効率な気流循環を実現します。 、クリーンルーム内の環境の清浄さと安定性を確保します。

I. FFU 空気供給システムの動作原理

FFU空気供給システムは主にファン、HEPAフィルター、空気供給パイプで構成されています。ファンが作動すると、空気は給気パイプラインを通ってFFUに吸い込まれ、HEPAフィルターで濾過され、空気中の塵、微生物、その他の汚染物質が除去され、きれいな空気が形成されます。ファンの作用により、FFU 上部の給気口からクリーン ルーム内にクリーン エアが均一に送られ、クリーン ルームに継続的かつ安定したクリーン エアを供給します。

FFU エア供給システムは、その高効率と均一性が特徴です。 HEPAフィルターは空気中のあらゆる種類の汚染物質を効果的に除去し、クリーンルームに送り込まれる空気の質があらかじめ設定された清浄度レベルに達することを保証します。同時に、FFU の上部にある空気供給出口の設計により、きれいな空気がクリーン ルームの隅々に均等に分配され、局所的な汚染の発生が回避されます。

II. FFU還気システムの動作原理

給気系に相当するのがFFUの還気系です。還気システムは主に還気出口、還気ダクト、還気ファンで構成されています。クリーン ルーム内では、清浄な空気がクリーン エリアを流れると、一定量の汚染物質と熱が運ばれます。クリーンルームの内部環境の安定性と清浄度を維持するには、これらの汚染物質と熱を還気システムを通じてクリーンルームから排出する必要があります。

クリーンエリアにクリーンエアが流れると、まずリターンエア出口からリターンエアダクトに吸い込まれます。空気戻りダクトでは、空気の温度と湿度を下げ、クリーン ルームの内部環境への空気の影響を軽減するために、空気は冷却や除湿などの特定の前処理を受けます。その後、前処理された空気はリターンファンによって吸引され、リターンダクトを通じてクリーンルーム外に排出されます。

還気システムの設計と動作は、クリーンルームの内部環境の安定性と清浄度に重要な影響を与えます。合理的なエアリターンシステムにより、クリーンルーム内の温度と湿度を効果的に制御し、クリーンエリアへの空気の影響を軽減します。同時に、還気システムはクリーンルーム内の汚染物質や熱を効果的に排出し、クリーンルームの内部環境の清浄度と安定性を維持します。

Ⅲ． FFU 空気供給と空気戻りの間の相乗効果

クリーンルーム環境では、FFU の空気供給システムと戻りシステムが連携して動作し、相互に影響を与えます。給気システムはクリーンルームに継続的かつ安定した清浄空気源を提供し、還気システムは清浄空気から汚染物質と熱をクリーンルームの外に排出する役割を果たします。供給空気システムと戻り空気システムの相乗効果により、クリーンルームの内部環境の清浄度と安定性が保証されます。

実際の応用においては、クリーンルームの内部環境の安定性と清浄度を確保するために、FFU の給気および帰還システムを精密に制御および調整する必要があります。給気と還気の流量、給気と還気の出口のレイアウト、ファンの動作パラメータを調整することで、クリーンルームの内部環境を正確に制御できます。同時に、FFU の正常な動作と安定した性能を確保するために、定期的な保守と修理を実行することも必要です。

結論として、FFU の給気および帰還システムは、クリーンルームの主要な機器として、クリーンルームの内部環境の安定性と清浄度に重要な影響を及ぼします。 FFU の給気および帰還システムを正確に制御および調整することで、クリーンルームの内部環境の清浄度と安定性を確保でき、クリーンルームの用途に重要な保証を提供します。